●ccrL010-01765

部署名　　：地域共同研究開発センター
設置場所　：地域共同研究開発センター　精密機器分析室

装置名称　：エスカー/オージェ電子分光分析装置
型式　　　：Fisons　ESCALAB210

導入年月日：1994/2/18
導入金額　：57,989,000

装置の概要
　容器：メタル，搬送系：直線導入機，光源：ＸＰＳ用ＡｌＫα線・ＭｇＫα線・ＵＰＳ用Ｈｅ，Ｎｅ，分析器：ＣＭＡ，エネルギーアナライザ制御コントローラ，コンピュータ。

装置の原理
　真空チャンバー内に試料を導入し，Ｘ線または，紫外線を試料に照射することにより，内殻電子をＸ線により励起させ，飛来した電子のエネルギー測定により，内殻電子の結合エネルギーの情報を得ることが可能。

共同利用について
　現在，共同利用を行っている。

共同利用に際しての注意
　超高真空下で使用する装置であるため，真空を損なう試料は測定不可。例えば，ガスを放出する物，内部・試料台に試料の一部が付着するような物等。使用に際しては，装置を熟知していることが必要。また，超高真空の取り扱いが可能であること。

必要経費
　現状では維持費用があるので特に問題はないが，数年後には，受益者負担を考慮する必要がある。

装置担当者
所属　：工学部　電気電子工学科　電子デバイス工学
氏名　：松尾　直人
内線　：9411
E-mail：nmatsuo@po.cc.yamaguchi-u.ac.jp