●engL010-01443
2002

部署名　　：工学部
設置場所　：工学部　機能材料工学科

装置名称　：電子プローブマイクロアナライザ
型式　　　：JEOL　JXA-8600MX

導入年月日：1991/11/20
導入金額　：22,300,000

装置の概要
　電子ビームを試料の表面に照射し発生する特性Ｘ線の強度を測定することにより微少域を構成する元素の化学分析を行う装置でＥＰＭＡとも呼ばれ，定性と定量分析の両方が可能である。鏡筒系，制御系，デ−タ処理系より構成されている。
　電子光学系の定格出力は５０ＫＶ、 負荷電流４００μAでプローブ電流１０-12〜１０-5A、最小径6.0ｎｍである。 Ｘ線分光方式は波長分散型で１ｃｈ、ＴＡＰ、ＮＳＴＥ（ＧＰＣ）、２ｃｈ、ＰＥＴ、ＬｉＦ（ＸＰＣ）がある。 点分析では5Ｂ〜92Ｕの元素について微小部（１μｍ程度）領域からの定性、定量（0.001〜100％）分析が可能でありビームスキャン（最大100×100μｍ、６nm）、ステージスキャン（最大80×80mm、１μｍステップ）によって面分析、線分析もできる。

装置の原理
　発生した特性Ｘ線を回折結晶により分光しスペクトル線を得る。この強度はビーム照射域の構成元素の濃度以外に，表面の傾斜，形状等の表面状態や導電性に大きく左右される。一般に試料を樹脂に埋設して固め，表面を琢磨し、平坦にする必要があり，また非導電性試料の場合は導電性を持たせるためカーボンなどの蒸着を施す。 定量分析では測定試料以外に良好な標準試料が必要であり，一般に検量線を設定して行うが、そうでない場合でも簡単組成の標準試料を用いＺＡＦ法などで補正計算することにより比較的迅速に定量分析ができる。

共同利用について
　利用申込みにより，装置責任者等がユーザーと利用内容を検討して，分析方法を検討する。

共同利用に際しての注意
　試料室は高真空で排気されるので水などの揮発成分の多い試料には注意を要する。固形試料を対象とする。

必要経費
　消耗品の負担。

装置担当者
所属　：工学部　機能材料工学科　結晶工学研究室
氏名　：池田　攻
内線　：9630
E-mail：k-ikeda@yamaguchi-u.ac.jp