■engL020-00015

部署名　　：工学部
設置場所　：工学部　電気電子工学科　エネルギー変換工学研究室

装置名称　：エネルギー分散型Ｘ線分析装置
型式　　　：kevex

導入年月日：1991/2/28
導入金額　：12,785,740

装置の概要
　上位機種（電界放出形走査電子顕微鏡）が導入されているので，そちらで対応する。

装置の原理

共同利用について
　現在，共同利用は行っていない。

共同利用に際しての注意

必要経費

装置担当者
所属　：工学部　電気電子工学科　電子デバイス工学
氏名　：小柳　剛
内線　：9420
E-mail：koyanagi@aem.eee.yamaguchi-u.ac.jp