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部署名　　：ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
設置場所　：ＶＢＬ棟

装置名称　：走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）
型式　　　：ＵＳＭ８０１型

導入年月日：1997/2/25
導入金額　：38,396,600

装置の概要
　本ＳＴＭシステムは超高真空対応のものである。このシステムにはＳＴＭの他，オージェ・リード、四重極質量分析器、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）、試料処理室およびその付属諸装置、ＴＯＦ型イオン分析器等の分析器を持ったシステムである。すなわち、10-11torrの真空度で本格的な表面物理実験の可能な装置である。ＳＴＭとしても市販装置としての最高クラスの性能を持つものである。

装置の原理
　金属・半導体等導電性の物質表面にPt、W等の鋭い針を1nm程度近づけるとトンネル電流が流れる。この電流は表面と針とのミクロな距離に極めて敏感である。つまり、表面原子雲の変化に敏感であり、針をサンプル表面で走査することでトンネル電流の強弱をもって表面原子の状態の２次元像を得る。また、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）は針を柔らかなバネに結合させることで、表面原子と針との間の原子間力によるバネのやわみ見から信号を作る。

共同利用について
　ベンチャー・ビジネス・ラボラトリーの研究登録をしていることが第一の条件である。利用に際しての注意：利用は超高真空の技術を完全にマスターしている人に限る。学生のみで使用することは断る。

共同利用に際しての注意

必要経費
　研究用の消耗品は自己負担であるが、基本的に経費の負担はない。

装置担当者
所属　：工学部　共通講座　基礎工学
氏名　：末岡　修，大島 直樹
内線　：9806
E-mail：osueoka@po.cc.yamaguchi-u.ac.jp， nohshima@amse.yamaguchi-u.ac.jp